第(3/3)页 “好的,没问题,我会准时在一楼大厅等候您…” 半个小时之后,fab厂cmp区某台机器面前,身穿白色太空服,只露出一双小眼睛的工艺工程师polly_hou努力瞪大眼睛问道:“柳小姐你确定是双氧水的浓度过低造成的吗?你要知道两小时之前,我们可是做过滴定,当时完全没有问题啊!” 站在旁边另外一家机器配套公司的工程师也附和道:“是啊是啊,我们供应的研磨液一向以稳定著称,从来没有出现过这样的问题。” 柳依依思索了几秒钟,并用神识探查了一下报废的晶圆,然后问配套公司的工程师道:“可以让我看一下你们公司的机台吗?” 那位工程师耸耸肩道:“请便。” 研磨液配套供应机台是一种塑料外壳的方形机器,内部有精密电子秤,精密流量泵以及若干配比桶,即循环泵输出泵构成,结构一目了然,从触摸屏上就能够看到研磨液配比的整个流程。 柳依依指责触摸屏上的流程图问道:“请问这台泵是做什么的?难道是为了排污水用的吗?” 配套设备工程师回答道:“是的。” 杨柳依依毫不留情地斥责道:“这台泵放在这儿简直是多此一举,难道你们不知道这台泵启动之后整个排污管路的扬尘会增加很多吗?这样会把污水倒灌入所有机器的排污口,甚至会顺着你们这两个桶的溢流管流入你们配比好的研磨液中,然后会出现什么情况不用我多说了吧?” 配套设备工程师还欲狡辩,工艺工程师polly_hou一拍大腿道:“肯定是这个原因啦,我说为什么每次清洗机台都会或多或少的出现一些良品率下降的问题,原来原因出在这里…” 第(3/3)页