第(3/3)页 否则的话,啥都没有,江成就是待在这里也无济于事。 因为euv光刻机也是一样的,那是诸多模块和技术的融合,是顶尖科技中的顶尖。 牵头的主管依旧是连广浩。 他看到江成来了,原本的愁容一下子就涌成了开心的笑,“江董,您来了!” 心头的大石头终于落地了。 江成来了,研发就有希望了。 没办法,这个东西太高深,连广浩虽然也明白一些原理,但真正来看的时候,却是感觉处处达不到自己想要的结果。 江成点点头,“大伙辛苦。现在情况怎么样,直接讲吧。” “好的。江董,我先说下吧,”连广浩先开了口,“我们本来想这个激光能够按照我们的设想,激发出13.5nm的极紫外光,但无论我们怎么调整电压、频率,两束激光都没法完美产生极紫外光。” 至于产生的别的光,那就是不需要的。 “发出的光,没有一道极紫外光?”江成都感觉有些不可思议,按道理来说,科宇光源的这个激光器,是可以实现的。 剩下的,无非就是通过诸多的反射镜,把不需要的光波过滤掉,把13.5nm的极紫外光留下,通过层层反射,形成纯净的极紫外光,然后用于光刻。 这个过程中,反射镜就非常重要了。 据江成的了解,常春光机所的冼珠峰所长,仍然在磨镜子。 而且激光的能量很高,为了得到这个极紫外光,其他光就要过滤掉,能量就损耗在了镜子上。 如此,散热又成了一个问题。 可以说,在江成的体内模拟室中,可能这些问题都不是太大的问题,但现实里头,这个材料就是达不到理想的效果。 那么就需要大家群策群力,想方设法让他达到预想的目标。 这就是原理很简单,操作却难上天。 但连广浩却是没有一点忧愁,因为他已经盲目相信江成了。 这会儿的江成伸手过去,静静地感受起了这个激光发生器,脸色凝重,似乎在和它通话一般。 …… 第(3/3)页