第8节 芯片准备-《芯片产业帝国》


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    于是,李飞亲自打电话给台极电专业负责客服工程电话,客气地说道:“你好,我是大深市芯片产业的工程师李飞,关于贵司的邮件告知我司的芯片流片还需要延迟,到底是什么原因?”

    对方态度不友善地说道:“哦,你fm芯片工艺要求是芯片主流可是双极ttl,”

    (注:在it科技公司客服工程师是懂技术的,因为有的是研发工程师转岗客服工程师。)

    李飞压住心中怒气,冷静道:“现在芯片工艺主流是s…,”

    没等李飞把话说完,对方打断了,并轻蔑地说:“你们内地人不懂,芯片是高科技产品,和你说不清,简单地说,你的fm芯片采用cmos工艺,是比较复杂,在芯片制造上工序比较多,所以,芯片流片时间需要延缓…”

    李飞乐呵一笑,在本人面前谈论芯片制造工艺,你还嫩了一点,重生前,本人在英特尔是副总裁,负责英特尔的芯片设计和芯片制造,

    ...

    同时,李飞从内心上,认为不必和这人一般见识,不必再继续说下去…,

    但为了fm芯片早点量产,早点让fm芯片进入市场变现,李飞不得不展示芯片研发实力,给一点颜色看看,让对方知道什么是研发技术大神。但没有必要再客气了,就命令道:“你不要打断我说话!如我说得没有错的话,cmos工艺流程大概是这样的:

    先是准备n型硅片,用以制造nmos和pmos晶体管。(注:os和nmos工艺基础上发展起来的)

    再使用湿氧化方法,在硅片上生长设定厚度(如约0.6微米)的二氧化硅层,作为制造p型区的掩蔽层。随后光刻p型区。

    接着,光刻出nmos晶体管的p阱区和pmos晶体管的源、漏区后,使用氮化硼片作掺杂源进行硼预淀积。

    在淀积硼以后,进行杂质推进扩散,形成nmos晶体管的p阱,在推进扩散的同时,也进行干氧化,接着进行湿氧化预定时间(如20分钟),该二氧化硅层作为光刻n型区的掩蔽层。

    如光刻出n型掺杂区,然后进行磷掺杂扩散,形成nmos晶体管的源、漏区;

    在磷扩散以后,进行湿氧化预定时间(如20分钟),该二氧化硅层用以制造nmos和pmos栅氧化区的的掩蔽层;

    光刻出nmos和pmos晶体管的栅区,然后使用干氧化方法,生成设定厚度的栅二氧化硅层(如500纳米制程),”


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