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    对何振华来说，解决一微米制程的需求，远比铜导线要急迫的多，在车上，何振华都迫不及待的提出他们面临的困惑。

    这些专业的问题，徐校长还有高所长是没办法加入讨论的。

    “高压汞灯发射的紫外线有g线436纳米，i线365纳米，最理想的状态肯定是滤除g线，只保留i线，事实上i线占比太小，我们没办法得到足够功率的i线光源……”

    研究光刻机的都知道，波长越短的光线，分辨率越高，这跟光的一项特性有关。

    那就是双缝干涉，波长越长，干涉的缝间距越大。

    365纳米的i线显然比436纳米的g线具备更大的优势。

    但技术上达不到，也只能干瞪眼。

    “试一试用水！”

    “水”

    什么情况？何振华脑子一脸懵。

    赵国庆说：“436纳米光线入水，速度降低大概33%，频率不变的情况下……”

    “波长会变短！”何振华声音因为激动，音调变得很高，将所有人的目光吸引过来了。

    “国庆，你真是个天才，我怎么没想到，按照这么来计算的话，在水中436纳米的波长，也就相当于326纳米的光线，比起i线365纳米更要优秀！”

    赵国庆点点头，好吧，先让你兴奋兴奋，这是二十年后的技术，需要将整个工台浸到水里，光刻的过程也在水中进行。

    需要高纯水，还要解决污染问题，相应的光刻胶稳定，介质也要解决，气泡怎么办？还有整个工台的防水处理。

    这一个个问题可不怎么容易解决。

    但提前二十年能进行浸润式光刻机方面的研究也不是坏事。

    希望清大在这一块能有始有终吧。

    浸润式光刻在193纳米深紫外线上还将爆发，因为193纳米深紫外线的折射率高达1.44，入水后波长只有134纳米，比起157纳米深紫光源更加优秀。
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